SHARE2008扩散炉控制系统是青岛赛尔微电子有限公司推出的全自动扩散炉控制系统，主要用于卧式扩散炉的高精度全自动控制。 系统由一个上位机和四个管机组成。工控机安装WINDOWS XP操作系统和DiffusionAutoMgr半导体扩散炉专业控制软件，实现工艺编写，数据管理、曲线记录，事件记录，实时监控等高级功能；每个炉管分别由完全独立的管机控制，相互之间保持独立，互不影响。

技术指标

1．温度控制单元：

1.1温度控制精度：

800.0～1300.0℃  ≤±0.5℃

400.0～ 800.0℃  ≤±1.0℃

200.0～400.0℃  ≤±2.0℃ 

1.2 温度测量通道： 3-18通道

1.3 温度控制通道： 3-18通道  

2．气路控制单元：

2. 1 气体/压力控制通道：1-8通道

2. 2 气体/压力控制精度：±0.2％

2．3 气体/压力检测精度：±0.1％

2．4 电磁阀驱动：8 -128通道，继电器隔离输出或晶体管快速输出；

2．5 开关量检测：16-128通道，全部光电隔离输入。

3．推拉舟控制单元：

3.1：行程编程范围  0—300cm

3.2: 定位精度：

配旋转编码器  ：≤±1mm；

无编码器控制  ：≤±3mm；

3.3:   舟速度程范围  ：50-800mm/min。

优化功能

1、温度控制器：

1.1 使用高精密铂电阻进行智能热电偶冷端补偿。

1.2 控温时SPIKE测量点双路热电偶，主热偶断偶时自动切换到备用热偶。

1.3自动拉温区，可在生产工艺中自动均布恒温区。

1.4 Profile热偶和Spike热偶组成串级控制系统，实时修正提高控温精度。

1.5 Profile，Spike比例控温模式，完成特殊工艺步骤。

1.6 高级专家自适应控温算法，无需现场整定，彻底解决过冲问题。

2、气路控制部分：

2.1 MFC缓启动时间可编程。

2.2 O2,H2软硬件双互锁。

2.3 O2,HCL软硬件双互锁。

3、推拉舟系统：

3.1可使用50-1000线旋转编码器高精度测量位移，也可开环控制降低成本。

3.2各种推拉舟都可以控制。

4、工艺过程控制器

   4.1 pv启动功能，节省功耗。

   4.2 上电待机，上电继续工艺，上电异常处理多种处理方法。

   4.3 跳转步灵活，可跳转到主工艺中的任一步。

   4.4 编写工艺时可调用以前编好的子工艺。

   4.5 等待，报警，报警跳转，工艺异常处理功能完善。

   4.6 报警声音多样，且可编程。

5、上位机软件SHARE2008

5.1 SHARE2008扩散炉控制系统是扩散炉专用中英文控制软件，是具有自主知识产权的软件，软件结合工艺需求设计了扩散炉常用菜单及功能菜单，详见软件使用说明书。