产品特点：
◆主机为水平一至四管炉系统构架，能独立完成不同的工艺或相同工艺
◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行全自动控制
◆采用悬臂式送片：操作方便、无摩擦污染
◆关键部件采用进口器件，确保设备的高可靠性
◆工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管路），气体流量采用质量流量计（MFC）控制
◆控温精度高，温区控温稳定性好；
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能

太阳能炉主要技术指标
1、工艺说明
1.1扩散：磷扩、硼扩（液态源、固态源等）

2、系统组成：主机（炉体、石英管、功率组件等)、自动送片（悬臂-SiC）净化工作台、气路气源系统（气源柜）、计算机控系统等组成

3、控制方式：自动送片

4、扩散炉配置：
4.1计算机控制
4.2工艺管（水平结构）：1-4管
4.3工艺规格：125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片（工艺腔体为石英管）
4.4恒温区长度：1100mm-450mm（可根据客户需要定制）
4.5晶圆装载：软着陆式碳化硅桨
4.6工艺气路：气路管道采用EP级电抛光管，气路阀门组件采用国际优质品牌产品（如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等），MFC国际优质（如MKS、UNIT、STEC等）

5、太阳能炉主要技术参数：
5.1工作温度：300～1200℃
5.2加热体控制点：3/5点
5.3炉体恒温区：1100mm-450mm（可根据客户需要定制）
5.4温区精度（静态闭管测试）：

600℃＜工作温度＜1200℃：0.5±℃

300℃≦工作温度≦600℃：1±℃

5.5单点温度稳定性（静态闭管测试）

600℃＜工作温度＜1200℃：0.5±℃／24h