由于SIC炉管价值高,订货周期长,若有损坏,不单是财产的损失,还会给正常生产造成很大的影响,所以SIC炉管一直以来都是设备维护人员的重点保护对象。工程师们为了防止因炉丝变形而损毁SIC管,不得不周期性的对炉筒进行检查以及其他费时费力的工作,占用了工程师和维护人员很多精力和时间,而这种模式仍存在很大的安全隐患。由于生产安排比较紧,不可能经常性down机检查炉筒,工程师检查炉管周期约为2-3个月,那在这2-3个月中,对于使用时间较长的炉体来说就可能会出现SIC损坏。
国外进口高温扩散炉(配SIC炉管),都配有相应的SIC报警和联动装置,在发生危险情况时,报警或跳闸;而国内设备厂家在做此类设备时,由于缺乏这种安全意识以及限于技术和成本考虑,几乎都会将此保护装置省掉,给设备使用厂家造成了很多不必要的麻烦。
国外进口的SIC管保护仪价格不菲,是造成半导体工厂一直没有采用的主要原因。为了解决这一矛盾性问题,S01-SIC保护仪应运而生!
S01-SIC炉管保护仪,是在总结了国外同类产品技术特点的基础上,由青岛赛尔微电子有限公司开发的产品。此保护仪专用于半导体工厂SIC管的保护,对SIC管实时监控,一旦出现危险情况,马上报警或切断加热炉体电源,能切实的保护SIC管的使用安全,防止因炉丝变形而损坏SIC炉管,保护半导体厂家的财产安全。
S01-SIC保护仪采用了模块化的设计思想,关键部位全部固化和灌封,并且出厂前全部经过30×24小时高温老化,可靠性极高。