Products 产品介绍

青岛赛尔深耕该领域 16 年,在核心性能、安全合规、稳定可靠三大维度形成核心优势,为晶圆制造提供高效精准的国产化装备方案。

  • 8英寸LPCVD低压化学气相淀积炉(POLY工艺)

8英寸LPCVD低压化学气相淀积炉(POLY工艺)

在低压、高温环境下,硅源热分解,在硅片表面沉积无定形 / 多晶硅薄膜,主要用于栅极多晶硅、电阻层等。

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